Siêu tinh mật phao quang

Siêu tinh mật phao quang ( tinh tuyển tứ thiên )

Siêu tinh mật phao quang thiên 1

Thạch anh tinh thể thị mục tiền thế giới thượng dụng lượng tối đại đích tinh thể, thạch anh tinh phiến tại công nghiệp sinh sản, khoa học nghiên cứu đẳng lĩnh vực trung đích ứng dụng thập phân quảng phiếm. Lợi dụng thạch anh tinh thể bổn thân đích vật lý đặc tính chế tác đích điện tử nguyên kiện, cụ hữu ngận cao đích tần suất ổn định tính, bị quảng phiếm ứng dụng vu sổ tự điện lộ, kế toán cơ, thông tấn đẳng bất đồng đích lĩnh vực [1,2,3]. Tùy trứ thông tấn, điện tử kỹ thuật đích phát triển, thị tràng đối thạch anh tinh phiến đích nhu cầu lượng đại phúc thượng thăng, đồng thời đối thạch anh tinh phiến biểu diện chất lượng đích yếu cầu dã việt lai việt cao; nhi truyện thống công nghệ ngận nan mãn túc thị tràng tăng trường đích nhu yếu. Nhân thử, nghiên cứu giả nhu yếu tại bất đoạn cải tiến gia công công nghệ đích đồng thời tầm cầu tân đích gia công phương pháp, lai đề cao thạch anh tinh phiến đích biểu diện chất lượng dĩ cập sinh sản hiệu suất.

Mục tiền, chủ yếu hữu dĩ hạ kỉ chủng phương pháp đối thạch anh tinh phiến tiến hành gia công: Viên cự long giáo thụ đẳng nhân [4,5] nghiên chế xuất thải dụng Si O2 nhuyễn chất ma liêu vi phấn hòa nhuyễn chất lịch thanh phao quang bàn, tại tu chính hoàn hình phao quang cơ thượng đối thạch anh tinh phiến tiến hành gia công, hoạch đắc liễu biểu diện thô tháo độ vi 0.1 nm~0.2 nm đích thạch anh tinh thể siêu quang hoạt biểu diện, thật hiện liễu siêu tinh mật gia công đích cực hạn tinh độ. Thử hậu, viên cự long giáo thụ đẳng nhân [6] hựu lợi dụng phù pháp phao quang phương pháp hòa Si O2 giao lạp phao quang thạch anh tinh phiến, hoạch đắc liễu biểu diện thô tháo độ vi 0.2 nm~0.3 nm đích siêu quang hoạt biểu diện. Lánh ngoại, kỳ tha đích học giả lợi dụng thủy hòa phao quang gia công, tại phổ thông phao quang cơ thượng đích gia công khu vực gia thượng bảo ôn tráo, sử công kiện tại quá nhiệt thủy chưng khí giới chất trung tiến hành phao quang, dã khả hoạch đắc vô hoa ngân, bình hoạt quang trạch vô cơ biến đích khiết tịnh biểu diện.

Thông quá đối thạch anh tinh phiến gia công hiện trạng đích thảo luận dữ phân tích, bổn nghiên cứu nghiên cứu nhất chủng đối siêu bạc thạch anh tinh phiến cao hiệu cao chất lượng đích gia công công nghệ, thảo luận siêu bạc thạch anh tinh phiến tại siêu tinh mật phao quang quá trình trung ma lạp xích thốn đối biểu diện chất lượng hòa tài liêu khứ trừ suất đích ảnh hưởng, đồng thời dã đối thạch anh tinh phiến tại gia công quá trình trung đích tài liêu khứ trừ cơ lý tiến hành luận thuật.

1 thật nghiệm quá trình

1.1 thật nghiệm phương án

Thí nghiệm trung bổn nghiên cứu thải dụng Nanopoli-100 bình diện phao quang cơ. Thạch anh tinh phiến nghiên ma phao quang nguyên lý kỳ ý đồ như đồ 1 sở kỳ. Tương thạch anh tinh phiến niêm tại cơ bàn thượng, tại cơ bàn thượng thi gia tái hà, nhiên hậu tu chính hoàn hòa phao quang bàn phân biệt nhiễu trứ các tự đích toàn chuyển trục toàn chuyển. Định thời hướng cơ bàn hòa phao quang bàn chi gian thiêm gia phao quang dịch, ma lạp tại tinh phiến hòa phao quang bàn chi gian sản sinh cổn yết hòa vi thiết tước tác dụng, tòng nhi đạt đáo tài liêu khứ trừ đích mục đích. Đồng thời, phao quang dịch hoàn kiêm cụ hữu thanh trừ phao quang sản sinh đích phế tiết đích tác dụng.

Thật nghiệm trung gia công đích công kiện vi thạch anh tinh phiến, như đồ 2 sở kỳ. Tinh phiến mỗi 3 phiến vi nhất tổ, quân quân niêm thiếp tại bất tú cương cơ bản đích đoan diện thượng. Thí kiện dụng thạch chá hòa tùng hương niêm tại cơ bàn thượng, dĩ đẳng bán kính 120° gian cách quân quân phân bố, sử tinh phiến tại gia công quá trình trung thụ lực quân quân.

Thật nghiệm trung sử dụng đích siêu bạc thạch anh tinh phiến xích thốn vi 29.5 mm×26 mm, hậu độ 200μm. Yếu cầu biểu diện thô tháo độ gia công đáo 10 nm, hậu độ gia công đáo 100μm, thiên soa vi 5μm. Cai thật nghiệm thải dụng Veeco quang học luân khuếch nghi kiểm trắc công kiện biểu diện thô tháo độ, tịnh sử dụng Mahr viên độ nghi trắc lượng thạch anh tinh phiến đích bình diện độ hòa hậu độ. Thạch anh tinh phiến tại nghiên ma hòa phao quang thời đích thật nghiệm điều kiện như biểu 1 sở kỳ.

1.2 nghiên ma quá trình

Thạch anh tinh phiến đích gia công dư lượng chủ yếu tại nghiên ma giai đoạn khứ trừ, sở dĩ nghiên ma hiệu suất trực tiếp quan hệ đáo chỉnh cá gia công hiệu suất đích cao đê. Nhi thả, nghiên ma tác vi phao quang đích tiền đạo công tự, tha vi phao quang sở đề cung biểu diện chất lượng đích hảo phôi tương nghiêm trọng địa ảnh hưởng phao quang đích biểu diện chất lượng hòa thời gian [7]. Tại nghiên ma quá trình trung, bán tinh nghiên sử dụng #2 000 đích Al2O3 ma lạp, tinh nghiên sử dụng #4 000 đích Al2O3 ma lạp. Tại nghiên ma quá trình trung sử dụng chú thiết bàn, khả dĩ ngận hảo địa bảo chứng thạch anh tinh phiến đích hình trạng tinh độ.

Vi liễu đắc đáo canh hảo đích biểu diện chất lượng hòa tài liêu khứ trừ suất, thật nghiệm trung hợp thích đích nghiên ma điều kiện vi: Nghiên ma dịch nùng độ 30%wt, nghiên ma tốc độ 50 r/min, nghiên ma áp lực khống chế tại 0.8 N~10 N đích phạm vi nội.

1.3 phao quang quá trình

Phao quang đích chủ yếu mục đích thị đề cao thạch anh tinh phiến đích biểu diện chất lượng, bao quát thô tháo độ, bình diện độ đẳng; đồng thời dã hội khứ trừ tại nghiên ma quá trình trung tồn lưu hạ lai đích biểu diện tàn dư ứng lực. Tại thạch anh tinh phiến đích phao quang quá trình trung, sử dụng 10%wt đích Ce O2 phao quang dịch, phao quang bàn sử dụng tụ an chỉ đích nhuyễn chất phao quang điếm. Nhân vi nhuyễn chất phao quang điếm đối phòng chỉ đại khỏa lạp sản sinh đích công kiện biểu diện thô tháo độ ác hóa hữu lợi, khả dĩ đắc đáo canh hảo đích biểu diện thô tháo độ.

Cai thật nghiệm trung hợp thích đích phao quang điều kiện: Phao quang dịch nùng độ 10%wt đích Ce O2 dung dịch, phao quang bàn chuyển tốc 30 r/min, phao quang áp lực khống chế tại 0.8 N~2 N đích phạm vi nội [8,9].

2 thật nghiệm kết quả cập kỳ thảo luận

2.1 thạch anh tinh phiến đích biểu diện thô tháo độ

Siêu bạc thạch anh tinh phiến tại gia công tiền hậu biểu diện chất lượng đích đối bỉ như đồ 3 sở kỳ. Nhất bàn nhận vi biểu diện thô tháo độ thị do phao quang bàn hòa công kiện chi gian tồn tại đích ma lạp tại công kiện biểu diện sản sinh ma sát ngân tích, tòng nhi sản sinh biểu diện thô tháo độ. Đãn thị phao quang bàn biểu diện đích vi tiểu bất quy tắc tính dã hội đạo trí công kiện biểu diện hình thành biểu diện thô tháo độ. Tại tái hà tác dụng hạ, phao quang bàn dữ công kiện biểu diện khẩn mật tiếp xúc thời, phao quang bàn thi gia cấp công kiện biểu diện các điểm bất quân quân đích áp lực sử đắc công kiện biểu diện các điểm đích tài liêu khứ trừ suất bất đẳng, dã hội sản sinh biểu diện thô tháo độ.

Kinh quá đối thạch anh tinh phiến đích bán tinh nghiên, tinh nghiên dĩ cập tối chung đích phao quang gia công, thạch anh tinh phiến đích biểu diện thô tháo độ khả dĩ khống chế tại 1 nm tả hữu. 5 phiến thí kiện kinh quá tối chung đích phao quang gia công hậu đắc đáo đích biểu diện thô tháo độ trị như đồ 4 (a) sở kỳ; đắc đáo đích tối hảo đích biểu diện thô tháo độ trị vi 0.82 nm, thí kiện đích thô tháo độ trị (Ra 0.82 nm) như đồ 4 (b) sở kỳ.

2.2 thạch anh tinh phiến đích hậu độ

Tại cai thật nghiệm trung, đối thạch anh tinh phiến đích hậu độ hữu phi thường nghiêm cách đích yếu cầu, nhân vi hậu độ hội ảnh hưởng đáo thạch anh tinh phiến đích hài chấn tần suất, hài chấn tần suất thị thạch anh tinh phiến đích nhất cá ngận trọng yếu đích tham sổ, chỉ yếu bảo chứng liễu tinh phiến đích hậu độ hòa biểu diện chất lượng tựu khả dĩ bảo chứng thạch anh tinh phiến tần suất đích cao ổn định tính. Thí nghiệm trung thí kiện đích hậu độ 200μm, yếu cầu gia công đáo 100μm, thiên soa vi 5μm. Sở dĩ cai thật nghiệm chế định liễu tại bất đồng đích nghiên ma giai đoạn hòa tối chung đích phao quang giai đoạn, mỗi cá giai đoạn khứ trừ thạch anh tinh phiến hậu độ đích khống chế giới hạn. Thạch anh tinh phiến hậu độ đích khống chế cập ma liêu xích thốn dữ tài liêu khứ trừ suất đích quan hệ như đồ 5 sở kỳ.

Tại nghiên ma hòa phao quang quá trình trung, tinh phiến đích hậu độ hòa tài liêu đích khứ trừ suất mật thiết tương quan, nhi tài liêu đích khứ trừ suất thị do ma lạp đích lạp kính quyết định đích. Lạp kính việt đại, tài liêu đích khứ trừ suất việt cao; đãn thị, tinh phiến đích biểu diện thô tháo độ tựu hội hạ hàng, sở dĩ tinh phiến đích hậu độ ngận nan khống chế. Thông quá bổn nghiên cứu đích gia công công nghệ khả dĩ bả thạch anh tinh phiến đích hậu độ thiên soa khống chế tại 1μm dĩ hạ. Tối chung gia công đắc đáo đích thạch anh tinh phiến hậu độ như đồ 6 sở kỳ.

2.3 thạch anh tinh phiến tại nghiên ma hòa phao quang quá trình trung đích tài liêu khứ trừ cơ lý

Tại nghiên ma quá trình trung, nghiên ma đích tác dụng hình thức dữ nghiên ma tài liêu đích tính năng mật thiết tương quan. Đối vu ma liêu khảm nhập tính giác hảo đích nghiên cụ, ma liêu chủ yếu kháo cổn yết hòa vi thiết tước tác dụng liên hợp khứ trừ thạch anh tài liêu, đãn dĩ vi thiết tiết tác dụng vi chủ; đối vu ma liêu khảm nhập tính giác soa đích nghiên cụ, tắc dĩ cổn yết tác dụng tác vi ma liêu đích chủ yếu tác dụng hình thức [10,11].

Do vu ma liêu đích tác dụng, đạo trí thạch anh tinh phiến bị gia công biểu diện thượng sản sinh vi liệt văn, giá chủng vi liệt văn thị thạch anh tinh thể phá phôi đích chủ yếu hình thức, cụ thể biểu hiện tại: Do vu ma liêu đích cổn yết tác dụng tại thạch anh tinh thể biểu diện sản sinh đái hữu liệt văn đích áp ngân; do vu ma liêu vi thiết tước tác dụng, tại thạch anh tinh thể biểu diện khắc hoa xuất đái hữu liệt văn đích hoa ngân. Hữu đích liệt văn khoách triển diên thân hậu dữ kỳ tha liệt văn tương giao xoa, thụ liệt văn bao vi đích khu vực tựu hội băng ly xuất toái phiến, giá dạng tựu đạt đáo liễu khứ trừ tài liêu đích mục đích.

Tại phao quang quá trình trung, thị dĩ ma lạp đích vi tiểu tố hình thiết tước sinh thành thiết tiết vi chủ thể nhi tiến hành đích. Do vu Ce O2 đích lạp kính canh tiểu, phao quang quá trình đích tài liêu khứ trừ cơ bổn thượng thị dĩ vi thiết tước tác dụng hoàn thành đích. Ma lạp khảm nhập phao quang bàn trung, thông quá ma lạp tiêm đoan khắc hoa công kiện biểu diện tiến hành vi thiết tước, tòng nhi đạt đáo công kiện tài liêu đích tố tính khứ trừ, đạt đáo tài liêu khứ trừ đích mục đích [12,13].

2.4 thật nghiệm quá trình trung đích vấn đề

(1) tại thạch anh tinh phiến đích gia công quá trình trung, tinh phiến tại dụng #4 000 đích Al2O3 hoàn thành nghiên ma hậu tòng cơ bàn thượng thủ hạ, bút giả phát hiện tinh phiến đích tứ giác hữu kiều khúc đích hiện tượng. Giá chủng hiện tượng chủ yếu thị do vu tại nghiên ma thạch anh tinh phiến thời, hội tại tinh phiến biểu diện sản sinh tàn dư ứng lực, tinh phiến lưỡng diện đích tàn dư ứng lực soa hiện tượng đạo trí liễu tinh phiến kiều khúc hiện tượng đích sản sinh.

Kinh thật nghiệm nghiên cứu phát hiện, thích đương địa tăng gia phao quang thời gian khả dĩ hữu hiệu khống chế giá cá vấn đề. Nhân vi tại phao quang quá trình trung, bút giả sử dụng nhuyễn chất đích tụ an chỉ phao quang bàn; tại phao quang sơ kỳ, thí kiện đích biên duyên thụ đáo phao quang bàn đích biến hình trở lực giác thí kiện trung bộ đại. Nhân thử, tại sơ kỳ giai đoạn thí kiện biên duyên giác trung bộ khứ trừ lượng đại. Đáo phao quang hậu kỳ thí kiện biên duyên xử đích phao quang bàn biến hình lượng giác sơ kỳ giai đoạn giảm thiếu, thí kiện biểu diện thượng các điểm sở thụ phao quang bàn biến hình trở lực trục tiệm xu vu nhất trí. Tối chung, thí kiện biểu diện thượng các điểm đích phao quang lượng xu vu tương đẳng, khả dĩ giải quyết tinh phiến kiều khúc đích hiện tượng.

(2) tại gia công thạch anh tinh phiến thời, thạch anh tinh phiến thị dụng dung hóa đích thạch chá hòa tùng hương niêm tại cơ bàn thượng, nhân thử, thạch anh tinh phiến gia công thời đích nhiệt biến hình, áp lực dẫn khởi đích đạn tính biến hình dĩ cập thạch chá niêm kết tằng đích quân quân trình độ đô hội ảnh hưởng thạch anh tinh phiến tối chung đích biểu diện bình diện độ hòa bình hành độ. Thông quá bổn nghiên cứu đích gia công công nghệ gia công siêu bạc thạch anh tinh phiến, thạch anh tinh phiến đích bình diện độ khả dĩ khống chế tại 1μm tả hữu.

3 kết thúc ngữ

Vi liễu hoạch đắc lương hảo đích siêu bạc thạch anh tinh phiến đích biểu diện chất lượng, bổn nghiên cứu dĩ biểu diện thô tháo độ Ra hòa hậu độ vi bình giới mục tiêu, đối thạch anh tinh phiến đích nghiên ma phao quang đặc tính hòa phao quang hậu đích biểu diện chất lượng tiến hành liễu phân tích hòa bình giới. Nghiên cứu kết quả biểu minh:

(1) siêu bạc thạch anh tinh phiến kinh siêu tinh mật phao quang hậu khả hoạch đắc hậu độ vi 99.4μm, biểu diện thô tháo độ vi 0.82 nm đích siêu quang hoạt biểu diện.

(2) ma liêu đích chủng loại tuyển trạch thị bảo chứng hoạch đắc siêu bình hoạt biểu diện đích tất yếu điều kiện; ma liêu đích lạp kính việt đại, tài liêu khứ trừ suất việt cao, đãn thị biểu diện thô tháo độ dã tựu việt đại.

(3) tại nghiên ma quá trình trung, thạch anh tinh phiến đích khứ trừ chủ yếu thị y kháo ma lạp đích cổn yết tác dụng hòa vi thiết tước tác dụng cộng đồng hoàn thành đích; tại phao quang quá trình trung, tắc chủ yếu thị dĩ vi thiết tước khứ trừ vi chủ.

(4) diên trường phao quang thời gian khả dĩ giảm tiểu thạch anh tinh phiến đích biểu diện tàn dư ứng lực, đồng thời dã khả hữu hiệu khống chế thạch anh tinh phiến tứ giác “Kiều khúc” hiện tượng.

(5) tinh phiến gia công thời sản sinh đích nhiệt biến hình, áp lực dẫn khởi đích đạn tính biến hình dĩ cập thạch chá niêm kết tằng đích quân quân trình độ đô hội ảnh hưởng thạch anh tinh phiến tối chung đích bình diện độ hòa bình hành độ.

Trích yếu: Vi liễu giải quyết siêu bạc thạch anh tinh phiến cao biểu diện chất lượng đích gia công vấn đề, dĩ cập tầm cầu nhất chủng cao hiệu đê thành bổn đích gia công phương pháp, tương nhất chủng tân đích siêu tinh mật phao quang công nghệ ứng dụng đáo siêu bạc thạch anh tinh phiến đích gia công trung. Cấp xuất liễu gia công quá trình trung đích phao quang nguyên lý, chế định xuất liễu tại nghiên ma hòa phao quang quá trình trung đích tối ưu thật nghiệm điều kiện, tịnh đối gia công hậu siêu bạc thạch anh tinh phiến đích thô tháo độ hòa hậu độ tố liễu tường tế đích phân tích; thảo luận liễu ma lạp đích xích thốn đối biểu diện thô tháo độ hòa tài liêu khứ trừ suất đích ảnh hưởng, đồng thời đối gia công quá trình đích tài liêu khứ trừ cơ lý tố liễu luận thuật, dĩ biểu diện thô tháo độ hòa hậu độ vi bình giới mục tiêu đối siêu bạc thạch anh tinh phiến đích gia công đặc tính hòa biểu diện chất lượng tiến hành liễu bình giới. Nghiên cứu kết quả biểu minh: Sử dụng cai thật nghiệm đích công nghệ gia công siêu bạc thạch anh tinh phiến khả dĩ đắc đáo hậu độ vi 99.4μm, biểu diện thô tháo độ vi 0.82 nm đích siêu quang hoạt biểu diện; đồng thời, cai nghiên cứu hoàn phát hiện thông quá diên trường phao quang thời gian khả dĩ giảm tiểu thạch anh tinh phiến đích biểu diện tàn dư ứng lực, khả hữu hiệu khống chế thạch anh tinh phiến tứ giác “Kiều khúc” hiện tượng, đắc đáo canh hảo đích bình diện độ hòa bình hành độ.

Tinh mật hòa siêu tinh mật gia công kỹ thuật đích phát triển thiên 2

Tinh mật hòa siêu tinh mật gia công kỹ thuật đích phát triển

Tinh mật hòa siêu tinh mật gia công kỹ thuật đích. Phát triển, trực tiếp ảnh hưởng đáo nhất cá quốc gia tiêm đoan kỹ thuật hòa quốc phòng công nghiệp đích phát triển, cố thế giới các quốc đối thử đô cực vi trọng thị, đầu nhập ngận đại lực lượng tiến hành nghiên cứu khai phát, đồng thời thật hành kỹ thuật bảo mật, khống chế quan kiện gia công kỹ thuật cập thiết bị xuất khẩu. Tùy trứ hàng không hàng thiên, cao tinh mật nghi khí nghi biểu, quán đạo bình đài, quang học hòa kích quang đẳng kỹ thuật đích tấn tốc phát triển hòa đa lĩnh vực đích quảng phiếm ứng dụng, đối các chủng cao tinh độ phục tạp linh kiện, quang học linh kiện, cao tinh độ bình diện, khúc diện hòa phục tạp hình trạng đích gia công nhu cầu nhật ích bách thiết.

Tác giả: Vương đại vĩ thôi vũ dương khôn trần hỉ long tác giả đan vị: Trang giáp binh kỹ thuật học viện, cát lâm trường xuân,130117 khan danh: Khoa kỹ tư tấn anh văn khan danh: SCIENCE & TECHNOLOGY INFORMATION niên, quyển ( kỳ ): “” (14) phân loại hào: V261.99 quan kiện từ: Tinh mật siêu tinh mật

Bất tú cương kích quang mô bản tinh mật điện phao quang công nghệ thiên 3

Hiện đại điện lộ bản biểu diện thiếp trang kỹ thuật (SMT), thật hiện liễu điện tử sản phẩm tổ trang đích cao mật độ, cao khả kháo tính, tiểu hình hóa, đê thành bổn hòa sinh sản tự động hóa. SMT kích quang mô bản thị do kế toán cơ thiết kế xuất đích các chủng điện tử sản phẩm đích tuyến lộ đồ, thông quá kích quang thiết cát cơ tại bất tú cương phiến thượng đả xuất điểm trạng, điều trạng đích khổng động, căn cư thật tế nhu yếu xích thốn đại tiểu, tối đại mô bản diện tích ước vi 600 mm×600 mm, nhi cương phiến hậu độ chỉ hữu 0.05 mm.

Tùy trứ giá hạng kỹ thuật đích phát triển, đối SMT kích quang mô bản đích yếu cầu dã bất đoạn đề cao, kinh kích quang thiết cát hậu đích mô bản khổng khích tại hiển vi kính hạ năng quan sát đáo 0.02 mm tả hữu đích mao thứ, tái xoát thượng tích cao hậu thường hội đạo trí tuyến lộ đồ đích tuyến điều bất hoàn toàn. Ứng thải dụng điện phao quang kỹ thuật khứ trừ kích quang thiết cát hậu sản sinh đích mao thứ, tịnh bảo trì SMT kích quang mô bản đích khổng bích quang hoạt cập xử lý hậu bất tú cương kích quang cương phiến đích hậu độ quân quân, xích thốn soa tại 0.005 mm phạm vi nội, tịnh thả đạt đáo biểu diện kính diện quang lượng, tất tu giải quyết xử lý quá trình trung khống chế xích thốn biến hóa hòa đạt đáo quang lượng chi gian tương hỗ mâu thuẫn đích kỹ thuật vấn đề.

Mục tiền quốc nội ngoại thải dụng đích điện phao quang kỹ thuật trung [1], cương bản diện tích đại, đặc biệt bạc ( tại 0.1 mm dĩ hạ ) đích tinh mật kiện tác điện phao quang xử lý thượng vô tiên lệ, nguyên nhân vi: Nhất phương diện phao quang xử lý điện lưu mật độ quá cao, tạo thành xích thốn biến hóa giác đại, bất thích dụng vu đối xích thốn biến hóa yếu cầu nghiêm cách đích bất tú cương tinh mật chế phẩm; lánh nhất phương diện biểu diện quang khiết độ yếu cầu cao đích điện phao quang dung dịch đại đa hàm hữu các ly tử, dung dịch dịch lão hóa thả hội đối hoàn cảnh sản sinh nghiêm trọng ô nhiễm [2]. Bổn công tác nghiên cứu liễu nhất chủng bất tú cương kích quang mô bản vô các tinh mật điện phao quang dung dịch cập công nghệ.

1 thí nghiệm

Kích quang mô bản đích xử lý công nghệ lưu trình:

Bất tú cương kích quang thiết cát → điện giải trừ du → thủy tẩy → khứ mao thứ xử lý → thủy tẩy → tinh mật điện phao quang → thủy tẩy → càn táo.

Trừ du phối phương:20 g/L khinh dưỡng hóa nột,30 g/L thán toan nột,15 g/L lân toan nột, trừ du xử lý mục đích tại vu bảo chứng mô bản biểu diện hậu tục phao quang quân quân nhất trí.

Kích quang thiết cát hậu mô bản khổng bích tàn lưu đích mao thứ giác đại, tinh mật phao quang bất năng hoàn toàn khứ trừ càn tịnh, như quả thải thủ điện phao quang trực tiếp khứ, tất tu tăng đại điện lưu mật độ hòa tương ứng địa diên trường phao quang thời gian, kết quả sử mô bản đích hủ thực lượng tăng đại, nan dĩ mãn túc xích thốn thiên soa tại 0.005 mm dĩ nội, nhân thử tại tinh mật phao quang chi tiền tăng gia dự khứ mao thứ xử lý công nghệ, hội sử mô bản biểu diện đích mao thứ xích thốn giảm tiểu, đồng thời tẫn lượng bảo chứng mô bản đích hủ thực lượng tại 0.002～0.003 mm dĩ nội, thử hậu tái kinh tinh mật điện phao quang xử lý hoàn toàn khứ trừ mao thứ, sử mô bản khổng bích quang hoạt. Dự khứ mao thứ xử lý thải dụng 40 g/L lân toan,10 g/L lưu toan,1～2 g/L ô lạc thác phẩm dung dịch, điện giải 5～10 min, điện lưu mật độ 5～7 A/dm2.

Điện phao quang dung dịch vi 600 mL/L lân toan,150 mL/L lưu toan. Tự chế chỉnh bình tề. Phao quang hậu mô bản đích độn hóa công nghệ tham sổ:20% tiêu toan,2.5 g/L trọng các toan giáp,10 min hậu thủ xuất thủy tẩy xuy càn.

Thải dụng điện hóa học phương pháp trắc thí mô bản tại phao quang dung dịch trung đích cực hóa khúc tuyến, thủ 1 cm2 đích bất tú cương thí dạng, nhất trắc dụng đái tuyệt duyên ngoại bì đích đồng tuyến hạn tiếp, tứ chu dụng hoàn dưỡng thụ chi phong bế, thải dụng cực hóa trì hòa Chi604 điện hóa học công tác trạm, bạc tố phụ trợ điện cực, bão hòa cam hống vi tham bỉ điện cực, thí dạng vi điện cực đích tam điện cực thể hệ, trắc thí mô bản tại dung dịch trung đích cực hóa khúc tuyến, nghiên cứu thiêm gia tề tại tinh mật điện phao quang trung đích tác dụng.

Sử dụng thiên phân xích trắc lượng mô bản phao quang tiền hậu đích xích thốn, xác định kỳ hủ thực lượng, dĩ tảo miêu điện kính (SEM) quan sát khổng bích hình mạo.

2 kết quả dữ thảo luận

2.1 khứ mao thứ đối phao quang đích ảnh hưởng

Kích quang thiết cát hậu, khổng bích mao thứ xích thốn giác đại, dữ khổng bích tương liên đích mao thứ căn bộ xích thốn giác tiểu.

Khứ mao thứ xử lý dung dịch phối phương:40 g/L lân toan,10 g/L lưu toan,1～2 g/L ô lạc thác phẩm, thường ôn xử lý, điện lưu mật độ 5～10 A/dm2, công kiện tố dương cực, duyên bản tố âm cực, xử lý thời gian 5 min, song diện hủ thực lượng 0.001～0.002 mm, biểu diện thành quân quân đích hôi sắc. Tại điện lưu đích tác dụng hạ, mao thứ căn bộ tứ chu quân phát sinh hủ thực, giác tiểu đích mao thứ bị khứ trừ, giác đại đích mao thứ xích thốn minh hiển giảm thiếu.

2.2 thiêm gia tề hàm lượng đối phao quang đích ảnh hưởng

Thiêm gia tề bao quát chỉnh bình tề hòa xúc tiến tề lưỡng bộ phân. Bất tú cương đích tinh mật phao quang nhu yếu mãn túc điện lưu mật độ bất năng quá đại, hủ thực lượng tiểu, đoản thời gian phao quang quang lượng đẳng điều kiện, nhân thử, tại phao quang dung dịch trung yếu gia nhập thích hợp phao quang tài liêu đích chỉnh bình tề hòa xúc tiến tề. Tại điện lưu mật độ 25 A/dm2, ôn độ 60～65 ℃, phao quang thời gian 1 min hạ, chỉnh bình tề hàm lượng đối phao quang hủ thực đích ảnh hưởng kiến đồ 1.

Tòng đồ 1 khả tri, chỉnh bình tề đích tối giai hàm lượng vi 15 g/L. Chỉnh bình tề vi tự hành nghiên chế đích thiêm gia tề, kỳ trung bao quát 1.5 g/L đường tinh, vi hoàng sắc niêm trù dịch.

Chỉnh bình tề năng tại âm cực quá trình trung bị kim chúc biểu diện hấp phụ, hữu trợ vu bị phao tài liêu biểu diện đích bạch lượng. Tại dương cực quá trình trung khả tại kỳ bất quy tắc đích biểu diện sinh thành nhất tằng hấp phụ bạc mô, sử chi dữ dung dịch phân ly. Đương bất thông điện thời, hấp phụ bạc mô phòng chỉ tài liêu biểu diện thụ điện giải dịch đích tẩm thực, thông điện hậu, hựu năng sử bị phao tài liêu đột khởi bộ vị đích điện lưu mật độ tăng đại, sử chi bộ phân cách ly bạc mô bị kích xuyên nhi khai thủy dung giải, ao nhập xử năng bị hữu hiệu địa bảo hộ, dĩ trí sử tài liêu biểu diện tiến hành tuyển trạch tính dung giải nhi đạt đáo bình hoạt, quang lượng. Nhất bàn dĩ lân toan vi chủ đích phao quang dung dịch vưu kỳ ôn độ giác đê thời niêm độ giác đại, đạo trí dương cực đích dung giải sản vật ngận nan tòng tài liêu biểu diện hướng dung dịch trung khoách tán hòa dung dịch hướng dương cực bổ sung [3], gia nhập đích chỉnh bình tề cụ hữu nhất định đích niêm độ, hàng đê liễu dung dịch đích đạo điện tính. Nhân thử, khả gia nhập nhất ta đạo điện diêm tác vi xúc tiến tề. Đạo điện diêm đích tuyển trạch ứng bất năng bao hàm ảnh hưởng phao quang chất lượng đích kim chúc ly tử. Gia dĩ lưu toan an tác vi xúc tiến tề, kỳ lượng dĩ 1 min đạt đáo quang lượng vi cơ chuẩn, gia nhập lượng vi 35 g/L.

Bất tú cương kích quang mô bản tại phao quang dung dịch trung đích cực hóa khúc tuyến kiến đồ 2.

Tòng đồ 2 khả tri, gia nhập thiêm gia tề, bất tú cương kích quang mô bản tại dung dịch trung đích tự hủ thực điện vị hòa độn hóa khu đích phạm vi quân hữu bất đồng, vị gia thiêm gia tề thời mô bản đích tự hủ thực điện vị vi -0.27 V, gia nhập thiêm gia tề tài liêu đích tự hủ thực điện vị vi -0.056 V, tự hủ thực điện vị minh hiển đề cao, thuyết minh gia nhập thiêm gia tề hậu, yếu sử tài liêu biểu diện hoạt hóa tựu nhu tăng gia điện áp. Vị gia thiêm gia tề thời độn hóa khu đích biến hóa phạm vi vi -0.27～1.04 V, gia nhập thiêm gia tề thời độn hóa khu đích biến hóa phạm vi vi -0.056～0.434 V, siêu quá 0.434 V, khai thủy hoạt hóa, độn hóa khu phạm vi do 1.31 V giảm thiếu đáo 0.49 V, minh hiển súc tiểu. Khả kiến thiêm gia tề minh hiển cải thiện liễu tài liêu biểu diện đích hoạt tính, mô bản biểu diện đích dung giải tốc độ gia khoái, sử tài liêu năng cú khoái tốc đạt đáo quang lượng.

2.3 điện lưu mật độ đối phao quang đích ảnh hưởng

Điện lưu mật độ thị điện giải phao quang đích nhất cá trọng yếu tham sổ, điện hóa học phao quang thông thường thị tại cao điện lưu mật độ hạ tiến hành đích [4]. Điện lưu mật độ đê, kim chúc xử vu hoạt hóa trạng thái, bị phao quang biểu diện phát sinh tẩm thực, dương cực điện giải sản vật thiếu, hóa học dung giải bỉ điện hóa học dung giải chiêm ưu thế, công kiện đạt bất đáo quang lượng. Điện lưu mật độ quá cao, dưỡng khí kịch liệt địa tích xuất, công kiện biểu diện dung dịch phát sinh quá nhiệt, dung giải gia khoái, cục bộ dung giải bất quy tắc gia kịch, sản sinh quá hủ thực. Dương cực dung giải gia khoái, kháo cận dương cực đích dung dịch thành phân nùng độ tăng đại, điện trở tương ứng tăng đại, tăng gia năng háo, hàng đê phao quang đích quân quân tính. Điện lưu mật độ đối phao quang chất lượng đích ảnh hưởng kiến biểu 1.

Tòng biểu 1 khả tri, đương điện lưu mật độ vi 25 A/dm2 thời, công kiện biểu diện quang lượng, giảm bạc xích thốn tiểu vu 0.005 mm.

2.4 ôn độ cập thời gian đối phao quang đích ảnh hưởng

Dung dịch ôn độ đê, hủ thực lượng tiểu, đãn thượng quang hiệu quả soa; ôn độ thăng cao, biểu diện phao quang dịch niêm độ hàng đê, dương cực dung giải cập khoách tán tốc độ gia khoái, dung dịch đối lưu gia khoái, hữu lợi vu công kiện biểu diện trệ lưu đích khí phao thoát phụ, tị miễn sản sinh ma điểm; ôn độ quá cao, biểu diện hủ thực gia khoái hoặc biểu diện sản sinh khí đái điều văn, dung dịch khởi trứu, quân quân độ hàng đê. Điện lưu mật độ vi 25 A/dm2 thời, điện phao quang dung dịch ôn độ đối phao quang chất lượng đích ảnh hưởng kiến biểu 2.

Nhất bàn ôn độ tại 60～75 ℃ thời, cương phiến biểu diện quang lượng hòa xích thốn giảm bạc đô đạt đáo liễu kỹ thuật yếu cầu.

Tại điện lưu mật độ 25 A/dm2, ôn độ 65 ℃ hạ, phao quang thời gian dữ song biên hủ thực lượng đích quan hệ khúc tuyến kiến đồ 3.

Tòng đồ 3 khả tri, kích quang thiết cát hoặc phao quang 1 min, bất tú cương kích quang mô bản đích song biên hủ thực lượng tại 0.004 mm dĩ nội, biểu diện quân quân quang lượng. Khứ mao thứ xử lý hòa tinh phao quang xử lý cương phiến khổng bích SEM hình mạo kiến đồ 4.

Tòng đồ trung khả tri, phao quang tiền kích quang thiết cát hậu đích khổng bích tàn lưu thô tháo đích mao thứ, nhi kinh khứ mao thứ dự xử lý hòa tinh phao quang hậu khổng bích xử đích mao thứ tiêu thất, khổng bích quang hoạt.

3 kết luận

(1) dự phao quang xử lý dung dịch phối phương:

40 g/L lân toan,1～2 g/L ô lạc thác phẩm, thường ôn xử lý, điện lưu mật độ 5～10 A/dm2, xử lý thời gian 5 min. Tinh phao quang dung dịch:600 mL/L lân toan,150 mL/L lưu toan,15 g/L chỉnh bình tề,35 g/L lưu toan an tác xúc tiến tề.

(2) tinh mật điện phao quang công nghệ tham sổ:

Điện lưu mật độ 25 A/dm2, ôn độ 65 ℃, phao quang thời gian 1 min.

(3) kích quang mô bản kinh khứ mao thứ hòa tinh phao quang xử lý, mô bản biểu diện quang lượng, hủ thực lượng tiểu vu 0.005

mm, khổng bích quang hoạt vô mao thứ.

Trích yếu: Bất tú cương kích quang mô bản xích thốn đại, bích bạc, đối kỳ phao quang yếu cầu vi biến hình tiểu, khổng bích quang hoạt, thả hủ thực lượng tiểu vu 0.005 mm. Lợi dụng cực hóa khúc tuyến, tảo miêu điện kính (SEM) đẳng phương pháp, nghiên cứu liễu dự khứ mao thứ, thiêm gia tề, tinh phao quang công nghệ tham sổ đối phao quang chất lượng đích ảnh hưởng, xác định liễu tinh mật điện phao quang dung dịch tổ thành cập tinh phao quang công nghệ. Kết quả biểu minh, thiêm gia tề hàm lượng tại 15 g/L thời năng hữu hiệu ức chế phao quang đích hủ thực lượng, đề cao phao quang chất lượng; tại tinh phao quang đích tham sổ điện lưu mật độ vi 20～25 A/dm2, ôn độ 60～65℃, thời gian 1 min điều kiện hạ, cương phiến kinh khứ mao thứ xử lý hòa tinh phao quang xử lý năng đạt đáo khổng bích quang hoạt, hủ thực lượng tiểu vu 0.005 mm đích yếu cầu.

Quan kiện từ: Điện phao quang, bất tú cương, kích quang mô bản, công nghệ kỹ thuật

Tham khảo văn hiến

[1]Pedrazzinic.Phosphatizing Process[J].Metal Finishing,1997,95(11):110~112.

[2] tạ cách liệt phu ΠB. Kim chúc đích điện phao quang hòa hóa học phao quang [M]. Bắc kinh: Khoa học xuất bản xã,1961.

[3] dư hoán quyền. Lân toan tại bất tú cương biểu diện xử lý trung đích ứng dụng [J]. Điện độ dữ đồ sức,2004,4(2):23~25.

Siêu tinh mật phao quang thiên 4

Hữu quan nghiên cứu nhân viên đối mô cụ tự do khúc diện đích đả ma tinh gia công hòa phao quang tinh gia công kỹ thuật tiến hành liễu nghiên cứu [1,2,3,4,5,6]. Vi liễu giải quyết phục tạp mô cụ tự do khúc diện tinh mật, siêu tinh mật gia công trung phổ biến tồn tại đích hiệu suất quá đê thả nan dĩ bảo chứng hình diện tinh độ hòa ổn định đích phao quang phẩm chất đích vấn đề, thế giới các quốc đô tại cạnh tương nghiên cứu dĩ kế toán cơ vi chủ yếu phụ trợ thủ đoạn đích tự động hóa khúc diện tạo hình kỹ thuật cập kỳ tại sinh sản trung dữ phao quang gia công kỹ thuật đích hiệp tác thích ứng vấn đề. Mục tiền, tinh mật phao quang kỹ thuật đích nghiên cứu công tác dĩ kinh thác triển đáo mô cụ tự do khúc diện đặc chinh khúc tuyến đích tự động đề thủ hòa phục tạp mô cụ tạo hình đích bổn thể nghiên cứu thượng [3,6]. Cơ vu thử, bổn văn tại phân tích mô cụ phao quang kiện hình tuyến tam duy trọng cấu phương pháp đích cơ sở thượng, đề xuất diện hướng tinh mật phao quang đích phục tạp mô cụ khúc diện tam duy tạo hình phương pháp.

1 phục tạp mô cụ khúc diện hình tuyến tam duy trọng cấu phương pháp cập thật hiện

Tam duy trọng cấu phương pháp đích thật hiện bộ sậu như hạ: Thủ tiên kiến lập phao quang kiện tọa tiêu hệ, tòng mô cụ khúc diện nhị duy hình tuyến đồ trung y thứ đề thủ hình tuyến đích sở hữu tiết điểm tọa tiêu tín tức cập đoan điểm xử đích thiết thỉ tín tức, tịnh án nhất định đích cách thức cấu thành nhất sổ cư văn kiện; nhiên hậu lợi dụng trình tự tự động tòng cai sổ cư văn kiện trung hoạch thủ hình tuyến đích tiết điểm tọa tiêu tín tức hòa đoan điểm thiết thỉ ước thúc tín tức, thải dụng B dạng điều sáp trị khúc tuyến tại tam duy không gian trung trọng tân cấu tạo sở hữu hình tuyến, tòng nhi đắc đáo mô cụ khúc diện đích tam duy hình tuyến võng cách kết cấu.

Bổn nghiên cứu dĩ tam thứ B dạng điều khúc tuyến tác vi nghiên cứu khúc tuyến, kỳ phản toán quá trình đích bộ sậu như hạ: Xác định sáp trị khúc tuyến đích tiết điểm thỉ lượng, xác định khúc tuyến lưỡng đoan đích biên giới điều kiện, phản toán sáp trị khúc tuyến đích khống chế đỉnh điểm.

1.1 dạng điều sáp trị khúc tuyến đích sinh thành cập thật hiện quá trình

Thiết không giann+1 cá đỉnh điểm đích vị trí thỉ lượng vipi(i=0, 1,…,n), gián+1 cá đỉnh điểm cấu tạon-2 đoạn tam thứ (k=3, tứ giai ) quân quân B dạng điều khúc tuyến đoạn, mỗi tương lân 4 cá điểm khả định nghĩa nhất khúc tuyến đoạnpi(u) (i=1, 2,…,n-2), kỳ định nghĩa vi

$\mathit{p}{}_i(u)=\frac{1}{6}[u{}^{3}u{}^{2}u1]\left[\begin{array}{cccc}\begin{array}{l}\\ -1\end{array}& \begin{array}{l}\\ 3\end{array}& \begin{array}{l}\\ -3\end{array}& \begin{array}{l}\\ 1\end{array}\\ 3& -6& 3& 0\\ -3& 0& 3& 0\\ 1& 4& 1& 0\end{array}\right]\left[\begin{array}{c}\begin{array}{l}\\ \mathit{p}{}_{i-1}\end{array}\\ \mathit{p}{}_i\\ \mathit{p}{}_{i+1}\\ \mathit{p}{}_{i+2}\end{array}\right](1)$

0≤u≤1

Đoan điểm vị trí thỉ lượng$\mathit{p}{}_i(0)=\frac{1}{6}(\mathit{p}{}_{i-1}+4\mathit{p}{}_i+\mathit{p}{}_{i+1}),\mathit{p}{}_i(1)=\frac{1}{6}(\mathit{p}{}_i+4\mathit{p}{}_{i+1}+\mathit{p}{}_{i+2})$,Tức khởi điểm vị vu tam giác hình Δpi-1pipi+1 trung tuyếnpiM1 đích 1/3 xử, chung điểm vị vu tam giác hình Δpipi+1pi+2 trung tuyếnpi+1M2 đích 1/3 xử.

Vi liễu sử nhất điều tam thứ B dạng điều khúc tuyến thông quá nhất tổ sổ cư điểmpi(i=0, 1,…,n), phản toán quá trình nhất bàn thị sử khúc tuyến đích thủ mạt sổ cư điểm nhất trí, sử khúc tuyến đích phân đoạn liên tiếp điểm phân biệt y thứ dữ tương ứng đích sổ cư điểm nhất trí, nhân thử, sổ cư điểmpiTương y thứ dữ B dạng điều khúc tuyến định nghĩa vực nội đích tiết điểm đối ứng, tứcpiĐiểm hữu đối ứng tiết điểm trịu3+i(i=0, 1,…,n). Nhi giá ta tiết điểm trị đích xác định quá trình dã tựu thị đối sổ cư điểm thật hành tham sổ hóa đích quá trình. Bổn văn thải dụng tu chính huyền trường tham sổ hóa pháp ( hựu xưng Foley tham sổ pháp ) [7] đối sổ cư điểm tiến hành tham sổ hóa:

$\begin{array}{l}u{}_0=0\\ u{}_i=u{}_{i-1}+k{}_i|\text{Δ}\mathit{p}{}_{i-1}|i=1,2,\cdots ,n\end{array}\}(2)$

$\begin{array}{l}k{}_i=1+\frac{3}{2}(\frac{|\text{Δ}\mathit{p}{}_{i-2}|\theta {}_{i-1}}{|\text{Δ}\mathit{p}{}_{i-2}|+|\text{Δ}\mathit{p}{}_{i-1}|}+\frac{|\text{Δ}\mathit{p}{}_i|\theta {}_i}{|\text{Δ}\mathit{p}{}_i|+|\text{Δ}\mathit{p}{}_{i-1}|})\\ \theta {}_i=\min (\text{π}-\angle \mathit{p}{}_{i-1}\mathit{p}{}_i\mathit{p}{}_{i+1},\frac{\text{π}}{2})\\ |\text{Δ}\mathit{p}{}_{-1}|=|\text{Δ}\mathit{p}{}_n|=0\end{array}$

Kỳ trung, tu chính hệ sổki≥1.

Do thượng thức khả tri, |Δpi-1| dữ tiền hậu lân huyền trường |Δpi-2| cập |Δpi| tương bỉ, nhược |Δpi-1| việt tiểu, thả dữ tiền hậu lân tuyến giáp giác đích dư giácθi-1,θi( bất siêu quá π/2 thời ) việt đại, tắc tu chính hệ sổkiTựu việt đại, tòng nhi tu chính huyền trường tức tham sổ khu gian dã tựu việt đại. Giá dạng tựu đối nhân cai khúc tuyến đoạn tuyệt đối khúc suất thiên đại đạo trí đích dữ thật tế hồ trường tương bỉ thật tế huyền trường thiên đoản đích tình huống khởi đáo liễu tu chính tác dụng, tu chính huyền trường tựu giác tiếp cận thật tế hồ trường. Tòng sáp trị khúc tuyến đích quang thuận tính lai khán, thải dụng tu chính huyền trường tham sổ hóa pháp năng thủ đắc ngận hảo đích hiệu quả.

1.2 xác định khúc tuyến lưỡng đoan đích biên giới điều kiện

Tại xác định liễu tiết điểm thỉ lượngU=[u0u1…un+6] chi hậu, tựu khả dĩ cấp xuất dĩn+3 cá khống chế đỉnh điểm vi vị tri thỉ lượng đích don+1 cá thỉ lượng phương trình tổ thành đích tuyến tính phương trình tổ:

$\mathit{p}(u{}_{3+i})={\displaystyle \sum _{j=0}^{n+2}\mathit{d}}{}_j{\rm N}{}_{i,3}(u{}_{3+i})=\mathit{p}{}_{i}i=0,1,\cdots ,n(3)$

Thức trung,djVi khống chế khúc tuyến đích B dạng điều khống chế đỉnh điểm;Nj,3 vi tam thứ quy phạm B dạng điều cơ.

Nhân phương trình sổ tiểu vu vị tri đỉnh điểm sổ, cố tất tu bổ sung lưỡng cá hợp thích đích biên giới điều kiện, tức cấp xuất phụ gia phương trình, tài năng liên lập cầu giải. Bổn văn tuyển dụng đích biên giới điều kiện vi thiết thỉ biên giới điều kiện. Thiết thỉ điều kiện tại lực học thượng tương đương vu lương đích đoan bộ cố định đích tình huống, nhân thử cụ hữu cố định đích thiết tuyến phương hướng. Thiếtp′0 dữp′nVi cấp định đích thủ mạt đoan thiết thỉ, tắc thủ mạt đoan đích phụ gia phương trình vi [8]

$\begin{array}{l}\mathit{d}{}_1-\mathit{d}{}_0=\frac{\Delta {}_3}{3}{\mathit{p}}^{\prime }{}_0\\ \mathit{d}{}_{n+2}-\mathit{d}{}_{n+1}=\frac{\Delta {}_{n+2}}{3}{\mathit{p}}^{\prime }{}_n\end{array}\}(4)$

Thức trung,ΔVi tiết điểm khu gian đích trường độ.

1.3 phản toán sáp trị khúc tuyến đích khống chế đỉnh điểm

Đương thải dụng thiết thỉ biên giới điều kiện thời, do vu thủ lưỡng đoan điểm trọng phục độγ=3, nhân thử tam thứ B dạng điều khúc tuyến đích thủ mạt khống chế đỉnh điểm tựu thị thủ mạt sổ cư điểm, tứcd0=p0,dn+2=pn+2, thả do biên giới điều kiện khả đắc phụ gia phương trình, như thức (4) sở kỳ. Giá dạng khả đắc tuyến tính phương trình tổ:

$\left[\begin{array}{ccccccc}\begin{array}{l}\\ 1\end{array}& \begin{array}{l}\\ 1\end{array}& \begin{array}{l}\\ 1\end{array}& & & & \\ a{}_2& b{}_2& c{}_2& & & & \\ [3]\cdots & & & & & & \\ [3]\cdots & & & & & & \\ [4]\cdots & & & & & & \\ [5]a{}_n& b{}_n& c{}_n& & & & \\ [5]1& 1& 1& & & & \end{array}\right]\left[\begin{array}{c}\begin{array}{l}\\ \mathit{d}{}_1\end{array}\\ \mathit{d}{}_2\\ ⋮\\ \mathit{d}{}_n\\ \mathit{d}{}_{n+1}\end{array}\right]=\left[\begin{array}{c}\begin{array}{l}\\ \mathit{e}{}_1\end{array}\\ \mathit{e}{}_2\\ ⋮\\ \mathit{e}{}_n\\ \mathit{e}{}_{n+1}\end{array}\right](5)$

$\begin{array}{l}\Delta {}_i=u{}_{i+1}-u{}_i\\ a{}_i=\frac{(\Delta {}_{i+2}){}^2}{\Delta {}_i+\Delta {}_{i+1}+\Delta {}_{i+2}}\\ b{}_i=\frac{\Delta {}_{i+2}(\Delta {}_i+\Delta {}_{i+1})}{\Delta {}_i+\Delta {}_{i+1}+\Delta {}_{i+2}}+\frac{\Delta {}_{i+1}(\Delta {}_{i+2}+\Delta {}_{i+3})}{\Delta {}_i+\Delta {}_{i+1}+\Delta {}_{i+2}}\\ c{}_i=\frac{(\Delta {}_{i+1}){}^2}{\Delta {}_i+\Delta {}_{i+1}+\Delta {}_{i+2}}\\ \mathit{e}{}_1=\mathit{p}{}_0+\frac{\Delta {}_3}{3}{\mathit{p}}^{\prime }{}_0,\mathit{e}{}_{n+1}=\mathit{p}{}_0-\frac{\Delta {}_{n+2}}{3}{\mathit{p}}^{\prime }{}_0\\ \mathit{e}{}_i=(\Delta {}_{i+1}+\Delta {}_{i+2})\mathit{p}{}_{i-1},i=0,1,\cdots ,n\end{array}$

Cầu giải thượng thuật tuyến tính phương trình tổ, tức khả cầu xuất toàn bộ vị tri khống chế đỉnh điểm.

1.4 khúc diện cập đỉnh điểm phản cầu

Đối duyên nhậm nhất tham sổ phương hướng đô thị chu kỳ bế khúc diện đích tình huống, tại cai tham sổ phương hướng vô nhu đề cung biên giới điều kiện, tựu khả duy nhất xác định sáp trị cai phương hướng các bài sổ cư điểm đích chu kỳ tam thứ B dạng điều khúc tuyến đích khống chế đỉnh điểm. Hạ diện chỉ khảo lự khai khúc diện đích tình huống, giá thời tất tu đề cung hợp thích đích biên giới điều kiện, thả hữu đa chủng khả cung tuyển trạch đích biên giới điều kiện. Bổn văn dĩ thiết thỉ điều kiện vi lệ, đề cung các tiệt diện khúc tuyến (uTuyến ) đích đoan điểmuHướng thiết thỉ, quá túng hướng các bài sổ cư điểm đích đẳng tham sổ tuyến (vTuyến ) đích đoan điểmvHướng thiết thỉ hòa sổ cư điểm trận tứ giác sổ cư điểm xử đích hỗn hợp thiên đạo thỉ ( nữu thỉ ). Phản cầu khống chế điểm bộ sậu như hạ:① tại tiết điểm thỉ lượngUThượng, do tiệt diện sổ cư điểm cập đoan điểmuHướng thiết thỉ, ứng dụng B dạng điều khúc tuyến phản toán, cấu tạo xuất các tiệt diện khúc tuyến, cầu xuất tha môn đích B dạng điều khống chế đỉnh điểm$\overline{\mathit{d}}{}_{i,j}(i=0,1,\cdots ,m+2$;j=0, 1,…,n);② tại tiết điểm thỉ lượngVThượng, phân biệt thị thủ mạt tiệt diện sổ cư điểm xửvHướng thiết thỉ vi “Vị trí thỉ lượng” biểu kỳ đích “Sổ cư điểm”;③ thị tứ giác giác điểm nữu thỉ vi “Đoan điểmvHướng thiết thỉ”, ứng dụng khúc tuyến phản toán, cầu xuất định nghĩa thủ mạtuTham sổ biên giới ( thủ mạt tiệt diện khúc tuyến ) đích khóa giới thiết thỉ khúc tuyến đích khống chế đỉnh điểm;④ cố định hạ tiêui,Dĩ đệ ① bộ cầu xuất đíchn+1 điều tiệt diện khúc tuyến đích khống chế đỉnh điểm trận liệt trung đích đệiLiệt ( tức$\overline{\mathit{d}}{}_{i,j}(j=0,1,\cdots ,n))$Vi “Sổ cư điểm”, dĩ đệ ③ bộ cầu xuất đích khóa giới thiết thỉ khúc tuyến đích đệiCá đỉnh điểm vi “Đoan điểm thiết thỉ”, tại tiết điểm thỉ lượngVThượng ứng dụng khúc tuyến phản toán;⑤ phân biệt cầu xuấtm+3 điều sáp trị khúc tuyến, khống chế khúc tuyến đích B dạng điều khống chế đỉnh điểmdi,j(i=0, 1,…,m+2;j=0, 1,…,n) tức vi sở cầu song tam thứ B dạng điều sáp trị khúc diện đích khống chế đỉnh điểm. Song tam thứ B dạng điều sáp trị khúc diện đích phương trình vi

$\mathit{p}(u,v)={\displaystyle \sum _{i=0}^{m+2}{\displaystyle \sum _{j=0}^n\mathit{d}}}{}_{i,j}{\rm N}{}_{i,3}(u){\rm N}{}_{j,3}(v)(6)$

Kỳ trung,Ni,3 (u) hòaNj,3 (v) phân biệt viuHướng tam thứ hòavHướng tam thứ đích quy phạm B dạng điều cơ, tha môn phân biệt douHướng dữvHướng đích tiết điểm thỉ lượngU=[u0u1…um+6] hòaV=[v0v1…vn+6] quyết định.

2 diện hướng tinh mật phao quang đích phục tạp mô cụ khúc diện hình tuyến trọng cấu pháp đích quan kiện kỹ thuật

Lợi dụng B dạng điều sáp trị khúc tuyến cấu tạo mô cụ khúc diện tam duy hình tuyến võng cách kết cấu đích quan kiện thị như hà chính xác tuyển thủ hình tuyến đích tiết điểm cập đoan điểm xử đích thiết thỉ. Thật hiện mô cụ khúc diện hình tuyến đích tinh xác trọng cấu đích quan kiện kỹ thuật như hạ:

(1) tiết điểm đích tuyển thủ. Mô cụ khúc diện hình tuyến tiết điểm đích loại hình chủ yếu hữu hình trị điểm, đoan điểm hòa gia mật điểm tam chủng. ① hình trị điểm. Hình tuyến thượng sở hữu đích hình trị điểm ( cai điều hình tuyến dữ kỳ tha hình tuyến đích giao điểm ) tất tu đô tuyển vi cai hình tuyến đích tiết điểm, dĩ bảo chứng các hình tuyến chi gian đích tương giao tính. ② đoan điểm. Do vu mô cụ khúc diện hình tuyến đồ trung đích mỗi điều hình tuyến tịnh bất nhất định thị nhất đoạn dạng điều khúc tuyến, hữu khả năng thị do đa đoạn dạng điều khúc tuyến cấu thành, nhân thử tất tu kiểm tra cấu thành mỗi điều hình tuyến đích dạng điều khúc tuyến đích đoạn sổ, kiểm tra đích phương pháp thị tại AutoCAD trung y thứ điểm thủ mỗi điều hình tuyến, nhược hình tuyến do đan đoạn dạng điều khúc tuyến cấu thành, tắc tại điểm thủ cai hình tuyến thời chỉnh điều hình tuyến hội bị tuyển trung; nhược hình tuyến do đa đoạn dạng điều khúc tuyến cấu thành, tắc cai hình tuyến nhu đa thứ điểm thủ tài năng toàn bộ tuyển trung. Nhược hình tuyến do đa đoạn dạng điều khúc tuyến cấu thành, ứng tương các đoạn dạng điều khúc tuyến đích đoan điểm ký lục hạ lai, như quả giá ta đoan điểm bất thị hình tuyến đích hình trị điểm, ứng tuyển trạch giá ta đoan điểm tác vi cấu thành cai hình tuyến đích tiết điểm. ③ gia mật điểm. Vi liễu bảo chứng hình tuyến đích tinh xác trọng cấu, trừ liễu thải dụng thượng thuật lưỡng loại sổ cư điểm ngoại, tại dạng điều cục bộ vị trí hữu thời hoàn nhu tăng gia sổ cư điểm. Như vi liễu tinh xác cấu tạo viên hồ, trừ tương cai viên hồ đích lưỡng đoan điểm tuyển vi tiết điểm, lưỡng đoan điểm đích thiết thỉ tác vi ước thúc ngoại, hoàn nhu tại cai viên hồ thượng tuyển thủ nhất điểm tác vi tiết điểm, cai điểm xưng chi vi gia mật điểm.

(2) đoan điểm thiết thỉ đích tuyển thủ. ① đoan điểm thiết thỉ đích sổ lượng. Nhược hình tuyến vi đan đoạn dạng điều khúc tuyến, thủ hình tuyến lưỡng đoan điểm xử đích thiết tuyến thỉ lượng tức khả; nhược hình tuyến do đa đoạn dạng điều khúc tuyến cấu thành, tắc ứng tuyển trạch sở hữu dạng điều khúc tuyến đoạn đích đoan điểm xử đích thiết tuyến thỉ lượng tác vi hình tuyến trọng cấu đích ước thúc điều kiện. ② đoan điểm thiết thỉ đích phương hướng. Đoan điểm thiết thỉ đích phương hướng khả tòng cai dạng điều khúc tuyến đích chúc tính trung độc thủ.

(3) cơ vu hình tuyến trọng cấu đắc đáo mô cụ khúc diện tam duy hình tuyến võng cách kết cấu. Cơ vu thượng thuật lý luận hòa kỹ thuật, lợi dụng UG năng đắc đáo mô cụ khúc diện đích tam duy hình tuyến võng cách kết cấu. Thải thủ dĩ thượng thố thi đắc đáo đích tam duy hình tuyến võng cách bất cận cao độ bảo trì liễu nguyên hình tuyến đích hình trạng tinh độ hòa quang thuận hiệu quả, nhi thả xác bảo liễu tam tộc hình tuyến chi gian lưỡng lưỡng giao chức, vi hậu tục đích mô cụ khúc diện tạo hình hòa quang thuận sang tạo liễu điều kiện.

Tam duy hình tuyến trọng cấu pháp khả dĩ cấu tạo mô cụ khúc diện đích tam duy võng cách kết cấu, tịnh đồng thời giải quyết hình tuyến đích thức biệt vấn đề. Cai phương pháp đích chủ yếu ưu điểm thị võng cách kết cấu đích khống chế hòa tu cải phương tiện.

3 cơ vu mô cụ khúc diện tam duy trọng cấu phương pháp đích tinh mật phao quang hệ thống phân tích

3.1 tinh mật phao quang hệ thống

Cơ vu mô cụ khúc diện tam duy trọng cấu phương pháp đích tinh mật phao quang hệ thống do toàn chuyển hình bành trướng khí nang phao quang công cụ, phao quang công tác đài, trắc tốc nghi, trực lưu ổn áp điện nguyên, khí bơm, khí áp khống chế hệ thống, Motoman-HP20 hình công nghiệp cơ khí nhân hòa kế toán cơ đẳng tổ thành [3], như đồ 1 sở kỳ. Phao quang quá trình trung, phao quang công cụ thông quá liên tiếp bản dữ Motoman-HP20 hình công nghiệp cơ khí nhân đích chấp hành mạt đoan cố tiếp, tại tam duy không gian nội di động hòa toàn chuyển. Cơ khí nhân phao quang hệ thống bất cận năng cơ vu kỳ giáo mô thức hoặc biên trình khống chế tự động phao quang bình diện hoặc tự do khúc diện, nhi thả tại phao quang quá trình trung năng phương tiện địa cải biến phao quang công cụ đích toàn chuyển tốc độ hòa tượng giao khí nang đích nội bộ áp lực.

3.2 phục tạp mô cụ tự động phao quang khúc diện đích biên trình khống chế cập kỳ gia công thật hiện

Phục tạp mô cụ khúc diện tam duy hình tuyến võng cách kết cấu đích trình tự biên chế lưu trình như đồ 2 sở kỳ.

Mô cụ nhị duy đích hình trị biểu hòa hình tuyến đồ thông thường thị dụng AutoCAD hội chế đích.dwg cách thức văn kiện, thông quá cách thức chuyển hoán, tương kỳ chuyển biến vi UG hạ thống nhất đích.prt cách thức văn kiện. Nhị duy hình tuyến kinh biên tập hậu, thủ tiên thông quá thái đan điều dụng tọa tiêu biến hoán mô khối tử trình tự, thải dụng nhân cơ giao hỗ đích phương thức, thật hiện tam duy tọa tiêu nguyên điểm đích thiết định, bỉ lệ đích thiết định, tham khảo điểm đích chỉ định, nhị duy hình tuyến đích tuyển thủ, nhiên hậu do trình tự tự động thật hiện nhị duy hình tuyến đích mệnh danh, bình di hòa toàn chuyển, tối chung sinh thành mô cụ khúc diện tam duy hình tuyến võng cách kết cấu.

Tại phục tạp mô cụ tự động phao quang khúc diện đích biên trình khống chế hạ, khúc diện phao quang nhuyễn kiện hệ thống kết cấu mô hình như đồ 3 sở kỳ. Cai mô hình y thứ do 4 cá mô khối ( sổ cư dự xử lý mô khối, mô cụ khúc diện CAD mô khối, mô cụ khúc diện CAM mô khối hòa phao quang gia công mô khối ) cấu thành. Kỳ trung khúc diện tam duy trọng cấu tạo hình mô khối hòa sổ khống biên trình mô khối quân tại CAD/CAM đích hệ thống chi xanh nhuyễn kiện hoàn cảnh hạ vận hành, nhân thử cộng hưởng thống nhất đích sổ cư khố, lưỡng mô khối chi gian khả dĩ tiến hành vô sổ cư giao hoán đích tự do thiết hoán, tòng nhi thật hiện liễu phục tạp mô cụ khúc diện CAD/CAM đích vô phùng tập thành.

Đương dĩ tối chung đích phao quang linh kiện ( mô cụ khúc diện ) đích tín tức văn kiện tác vi uẩn hàm các chủng thiết kế hòa gia công tín tức đích quảng nghĩa văn kiện thời, mô cụ tam duy khúc diện đích sinh thành quá trình khả dĩ khán tác thị nhất hệ liệt văn kiện đích hình thành quá trình, thị nhất chủng văn kiện lưu ( hoặc tín tức lưu ). Mô cụ khúc diện gia công đích thâu nhập văn kiện ( nhị duy đích mô cụ hình tuyến đồ hòa hình trị biểu ) kinh 4 cá mô khối xử lý hậu, y thứ sinh thành 4 cá mô cụ tam duy khúc diện đích gia công văn kiện ( mô cụ khúc diện sổ cư văn kiện, mô cụ khúc diện tam duy khúc diện, phao quang gia công G đại mã, mô cụ khúc diện ), giá 4 cá bất đồng đích mô cụ khúc diện gia công văn kiện phân biệt xử vu bất đồng đích gia công giai đoạn, uẩn hàm bất đẳng đích mô cụ khúc diện gia công tín tức.

Vi liễu kiểm nghiệm diện hướng tinh mật phao quang đích phục tạp mô cụ khúc diện tam duy trọng cấu phương pháp đích thích dụng tính, tiến hành liễu nhất tổ thí nghiệm, kết quả như biểu 1 sở kỳ. Thí nghiệm cơ bổn điều kiện như hạ: Cầu hình tượng giao khí nang đích trực kính vi 40mm, ma liêu vi kim cương thạch nghiên ma cao, tượng giao khí nang biểu diện phúc cái đích phao quang bố vi SUBA400, ao hình khúc diện công kiện vi mô cụ cương Cr12MoV, kỳ nguyên thủy bình quân biểu diện thô tháo độRaVi 0.675μm.

4 kết luận

(1) đề xuất liễu diện hướng tinh mật phao quang đích phục tạp mô cụ khúc diện tam duy tạo hình phương pháp, cơ vu cai phương pháp lợi dụng UG năng đắc đáo mô cụ khúc diện đích tam duy hình tuyến võng cách kết cấu, sở hình thành đích tam duy hình tuyến võng cách bất cận cao độ bảo trì liễu nguyên hình tuyến đích hình trạng tinh độ hòa quang thuận hiệu quả, nhi thả xác bảo liễu tam tộc hình tuyến chi gian lưỡng lưỡng giao chức, vi hậu tục đích mô cụ khúc diện tạo hình hòa quang thuận sang tạo liễu điều kiện.

(2) phân tích liễu phục tạp mô cụ đích tạo hình nguyên lý cập kỳ gia công thật hiện, tức tam duy tạo hình tại tinh mật phao quang trung đích hiệp tác thích ứng vấn đề, mô cụ khúc diện gia công đích thâu nhập văn kiện ( nhị duy đích mô cụ hình tuyến đồ hòa hình trị biểu ) kinh quá mô khối xử lý hậu, y thứ sinh thành 4 cá mô cụ tam duy khúc diện đích gia công văn kiện ( mô cụ khúc diện sổ cư văn kiện, mô cụ khúc diện tam duy khúc diện, phao quang gia công G đại mã, mô cụ khúc diện ), giá 4 cá bất đồng đích mô cụ khúc diện gia công văn kiện phân biệt xử vu bất đồng đích gia công giai đoạn, uẩn hàm bất đẳng đích mô cụ khúc diện gia công tín tức.

(3) ứng dụng bổn văn đề xuất đích diện hướng cơ khí nhân tinh mật phao quang hệ thống đích phục tạp khúc diện tam vị trọng cấu phương pháp năng đề cao tinh mật phao quang kỹ thuật tinh gia công phục tạp mô cụ đích hiệu suất hòa hàng đê sinh sản thành bổn.

Tham khảo văn hiến

[1] vương vĩnh quang, triệu vĩnh võ, ngô yến linh, đẳng. Siêu tinh mật phao quang tài liêu đích phi liên tục khứ trừ cơ lý [J]. Trung quốc cơ giới công trình, 2007, 18 (9):1032-1035.

[2] trương hiến, hà dương, kế thời minh, đẳng. Từ khống tán thể phao quang trang trí nhu độ điều tiết cơ lý nghiên cứu [J]. Trung quốc cơ giới công trình, 2008, 19 (9):1090-1094.

[3] kế thời minh, kim minh sinh, trương hiến, đẳng. Ứng dụng vu mô cụ tự do khúc diện đích tân hình khí nang phao quang kỹ thuật [J]. Cơ giới công trình học báo, 2007, 43 (8):2-6.

[4] trương học thành, đái nhất phàm, lý thánh di, đẳng. Từ xạ lưu phao quang đích xạ lưu ổn định tính phân tích [J]. Trung quốc cơ giới công trình, 2008, 19 (8):964-968.

[5]Walker D D, Brooks D, King A, et al.The Preces-sions Tooling for Polishing and Figuring Flat, Spherical and Aspheric Surfaces[J].Optics Ex-press, 2003, 11 (8):958-964.

[6]Yi A Y, Hezlep M, Pol T.A Computer ControlledOptical Pin Polishing Machine[J].Journal of Mate-rials Processing Technology, 2004, 146 (2):156-162.

[7]Farin G.Curvature Continuity and Offsets for Piece-wise Conic[J].ACM Transactions on Graphics, 1989, 8 (2):89-99.