Bán đạo thể chế trình kỹ thuật đạo luận ( đệ tam bản )

Đệ nhất chương đạo luận 1
1.1 tích thể điện lộ phát triển lịch sử 3
1.2 tích thể điện lộ phát triển hồi cố 14
1.3 bổn chương tổng kết 22
Tập đề 22
Tham khảo văn hiến 22

Đệ nhị chương tích thể điện lộ chế trình giới thiệu 25
2.1 tích thể điện lộ chế trình giản giới 26
2.2 tích thể điện lộ đích lương suất 26
2.3 vô trần thất kỹ thuật 30
2.4 tích thể điện lộ chế trình khu gian cơ bổn kết cấu 38
2.5 tích thể điện lộ trắc thí dữ phong trang 48
2.6 tích thể điện lộ vị lai phát triển xu thế 55
2.7 bổn chương tổng kết 56
Tập đề 57
Tham khảo văn hiến 58

Đệ tam chương bán đạo thể cơ sở 59
3.1 bán đạo thể cơ bổn khái niệm 60
3.2 bán đạo thể cơ bổn nguyên kiện 64
3.3 tích thể điện lộ tinh phiến 75
3.4 tích thể điện lộ cơ bổn chế trình 79
3.5 hỗ bổ thức kim chúc dưỡng hóa vật điện tinh thể 86
3.6 2000 hậu bán đạo thể chế trình phát triển xu thế 90
3.7 bổn chương tổng kết 92
Tập đề 93
Tham khảo văn hiến 93

Đệ tứ chương tinh viên chế tạo 95
4.1 giản giới 96
4.2 vi thập ma sử dụng tịch tài liêu 96
4.3 tinh thể kết cấu dữ khuyết hãm 98
4.4 tinh viên sinh sản kỹ thuật 101
4.5 lỗi tinh tịch sinh trường kỹ thuật 109
4.6 cơ bản công trình 117
4.7 bổn chương tổng kết 121
Tập đề 122
Tham khảo văn hiến 122

Đệ ngũ chương gia nhiệt chế trình 125
5.1 giản giới 126
5.2 gia nhiệt chế trình đích ngạnh thể thiết bị 126
5.3 dưỡng hóa chế trình 130
5.4 khoách tán chế trình 150
5.5 thối hỏa quá trình 155
5.6 cao ôn hóa học khí tương trầm tích 159
5.7 khoái tốc gia nhiệt chế trình (RTP) hệ thống 167
5.8 gia nhiệt chế trình phát triển xu thế 174
5.9 bổn chương tổng kết 176
Tập đề 177
Tham khảo văn hiến 178

Đệ lục chương vi ảnh chế trình 179
6.1 giản giới 180
6.2 quang trở 181
6.3 vi ảnh chế trình 184
6.4 vi ảnh kỹ thuật đích phát triển xu thế 210
6.5 an toàn tính 228
6.6 bổn chương tổng kết 229
Tập đề 231
Tham khảo văn hiến 232

Đệ thất chương điện tương chế trình 235
7.1 giản giới 236
7.2 điện tương cơ bổn khái niệm 236
7.3 điện tương trung đích bính chàng 238
7.4 điện tương tham sổ 242
7.5 ly tử oanh kích 247
7.6 trực lưu thiên áp 249
7.7 điện tương chế trình ưu điểm 251
7-8 điện tương tăng cường hóa học khí tương trầm tích cập điện tương thực khắc phản ứng khí 255
7.10 cao mật độ điện tương chế trình 260
7.11 bổn chương tổng kết 262
Tập đề 263
Tham khảo văn hiến 263

Đệ bát chương ly tử bố thực chế trình 265
8.1 giản giới 266
8.2 ly tử bố thực kỹ thuật giản giới 273
8.3 ly tử bố thực kỹ thuật ngạnh thể thiết bị 281
8.4 ly tử bố thực chế trình quá trình 290
8.5 an toàn tính 304
8.6 ly tử bố thực kỹ thuật phát triển xu thế 306
8.7 bổn chương tổng kết 308
Tập đề 309
Tham khảo văn hiến 310

Đệ cửu chương thực khắc chế trình 311
9.1 thực khắc chế trình giản giới 312
9.2 thực khắc chế trình cơ sở 314
9.3 thấp thức thực khắc chế trình 320
9.4 điện tương ( càn thức ) thực khắc chế trình 325
9.5 điện tương thực khắc chế trình 338
9.6 thực khắc chế trình phát triển xu thế 357
9.7 thực khắc chế trình vị lai phát triển xu thế 359
9.8 bổn chương tổng kết 361
Tập đề 362
Tham khảo văn hiến 362

Đệ thập chương hóa học khí tương trầm tích dữ giới điện chất bạc mô 365
10.1 giản giới 366
10.2 hóa học khí tương trầm tích 368
10.3 giới điện chất bạc mô đích ứng dụng 385
10.4 giới điện chất bạc mô đặc tính 393
10.5 giới điện chất CVD chế trình 406
10.6 đồ bố toàn đồ tịch pha li 420
10.7 cao mật độ điện tương CVD (HDP-CVD) 421
10.8 giới điện chất CVD phản ứng thất thanh khiết 424
10.9 chế trình phát triển xu thế dữ cố chướng bài trừ 428
10.10 hóa học khí tương trầm tích chế trình phát triển xu thế 434
10.11 bổn chương tổng kết 441
Tập đề 443
Tham khảo văn hiến 444

Đệ thập nhất chương kim chúc hóa chế trình 447
11.1 giản giới 448
11.2 đạo điện bạc mô 450
11.3 kim chúc bạc mô đặc tính 464
11.4 kim chúc hóa học khí tương trầm tích 472
11.5 vật lý khí tương trầm tích 481
11.6 đồng kim chúc hóa chế trình 493
11.7 an toàn tính 499
11.8 bổn chương tổng kết 499
Tập đề 501
Tham khảo văn hiến 502

Đệ thập nhị chương hóa học cơ giới nghiên ma chế trình 503
12.1 giản giới 504
12.2 CMP ngạnh thể thiết bị 514
12.3 CMP nghiên ma tương 517
12.4 CMP cơ bổn lý luận 523
12.5 CMP chế trình quá trình 529
12.6 CMP chế trình phát triển xu thế 538
12.7 bổn chương tổng kết 539
Tập đề 540
Tham khảo văn hiến 542

Đệ thập tam chương bán đạo thể chế trình chỉnh hợp 545
13.1 giản giới 546
13.2 tinh viên chuẩn bị 546
13.3 cách ly kỹ thuật 548
13.4 tỉnh khu hình thành 554
13.5 điện tinh thể chế tạo 557
13.6 kim chúc cao k áp cực MOS 561
13.7 hỗ liên kỹ thuật 565
13.8 độn hóa 574
13.9 tổng kết 575
Tập đề 575
Tham khảo văn hiến 576

Đệ thập tứ chương IC chế trình kỹ thuật 577
14.1 giản giới 578
14.2 thượng thế kỷ 80 niên đại CMOS chế trình lưu trình 578
14.3 thượng thế kỷ 90 niên đại CMOS chế trình lưu trình 582
14.4 2000 niên đại CMOS chế trình lưu trình 596
14.5 2010 niên đại CMOS chế trình lưu trình 615
14.6 ký ức thể tinh phiến chế tạo chế trình 627
14.7 bổn chương tổng kết 644
Tập đề 645
Tham khảo văn hiến 646

Đệ thập ngũ chương bán đạo thể chế trình phát triển xu thế hòa tổng kết 649
Tham khảo văn hiến 656