Khán đồ độc đổng bán đạo thể chế tạo trang trí

Tiền ngôn

Đệ 1 chương khái quan bán đạo thể chế trình
1-1 tiền đoạn chế trình dữ hậu đoạn chế trình
Tiền đoạn chế trình an trang nguyên kiện, phối tuyến; hậu đoạn chế trình tiến hành tổ trang, tuyển biệt, kiểm nghiệm đẳng 8
1-2 nguyên kiện hình thành chế trình ( tiền đoạn chế trình FEOL) 1
Tòng tinh viên tẩy tịnh, dưỡng hóa đáo áp cực dưỡng hóa tằng chi hình thành 12
1-3 nguyên kiện hình thành chế trình ( tiền đoạn chế trình FEOL) 2
Áp cực đa kết tinh tịch chi hình thành đáo mai thiết tiếp xúc khổng 16
1-4 phối tuyến hình thành chế trình ( tiền đoạn chế trình BEOL)
Tương điện tinh thể đẳng dĩ kim chúc phối tuyến, tiếp tục hậu hình thành hồi lộ 20
1-5 tinh viên điện lộ kiểm tra chế trình
Xác nhận mai nhập tinh viên nội tinh phiến hồi lộ đặc tính, phán định kỳ ưu, liệt 24
1-6 tổ trang chế trình ( hậu đoạn chế trình )
Tương ưu chất đích tinh phiến dữ ngoại phụ đoan tử liên tiếp, dụng bạc mô lai bảo hộ tinh phiến 26
1-7 tuyển biệt, kiểm nghiệm chế trình ( hậu đoạn chế trình )
Trục cá kiểm tra dĩ hoàn thành chi LSI điện lực đặc tính, xích thốn, ngoại quan 28
Column tân tài liêu, tân kỹ thuật trì tục đăng tràng 29
1-8 chế tạo lưu trình dữ sở sử dụng chi trang trí
Các nguyên kiện cấu thành linh tổ kiện chi lưu trình khái quan 30

Đệ 2 chương tiền đoạn chế trình ( tẩy tịnh ~ bộc hậu khảo ) chi chủ yếu chế trình dữ trang trí
2-1 tẩy tịnh 1
Nhất bàn sử dụng dược tề chi hóa học tính thanh trừ phương pháp 40
2-2 tẩy tịnh 2
Tinh viên tẩy tịnh kỹ thuật dữ tân hưng tẩy tịnh kỹ thuật 43
2-3 càn táo
Tinh viên xử lý hậu vụ tất yếu thủy tẩy, càn táo 45
2-4 dưỡng hóa
Tương tinh viên tịch biểu diện chuyển hoán vi tịch dưỡng hóa tằng 47
2-5 hóa học khí tương thẩm tích (CVD) 1
Nhượng phản ứng ngõa tư tiến hành hóa học phản ứng, trầm tích xuất mô 49
2-6 hóa học khí tương thẩm tích (CVD) 2
ALD dữ Cat-CVD52
2-7 quang trở thực tề đồ bố
Đồ hình (pattern) gia công tiền chi quang trở thực tề đồ bố 54
2-8 dự khảo
Tương quang trở thực tề sảo vi gia nhiệt 56
2-9 bộc quang 1
Bộ tiến cơ (stepper), tảo miêu cơ (scanner), dịch tẩm bộc quang trang trí 57
2-10 bộc quang 2
EUV dữ đồ hình giải tích độ đề thăng kỹ thuật 59
2-11 bộc quang 3
Điện tử thúc bộc quang trang trí 62
Column bộc quang trang trí phương thức 63
2-12 hiển tượng ． bộc hậu khảo
Tại quang trở thực tề thượng chế tác đồ hình, thiêu khắc 64

Đệ 3 chương tiền đoạn chế trình ( càn thức thực khắc ~ kim chúc độ mô ) chi chủ yếu chế trình dữ trang trí
3-1 càn thức thực khắc 1
Phản ứng tính ly tử thực khắc trang trí 72
3-2 càn thức thực khắc 2
Phi đẳng hướng tính thực khắc dữ đẳng hướng tính thực khắc 74
3-3 kháng thực tề bác ly ． hôi hóa
Khứ trừ bất yếu chi quang trở thực tề 76
3-4 CMP
Biểu diện nghiên ma, bình thản hóa 78
3-5 thấp thức thực khắc
Chỉnh thể thực khắc chi chủ yếu dụng đồ 80
Column tịch hóa vật kỹ thuật 82
3-6 bất thuần vật chất ( tạp tham ) đạo nhập trang trí 1
Ly tử bố thực 83
Column ly tử bố thực quang tráo 84
3-7 bất thuần vật chất ( tạp tham ) đạo nhập trang trí 2
Tân đích bất thuần vật chất đạo nhập kỹ thuật 85
3-8 dưỡng hóa tằng thực khắc ( phản thực khắc )
Áp cực trắc bích dĩ tự ngã đối chuẩn phương thức hình thành tuyệt duyên mô 87
3-9 PVD( vật lý khí tương trầm tích ) trang trí 1
Tiên độ 88
3-10 PVD( vật lý khí tương trầm tích ) trang trí 2
Các chủng PVD kỹ thuật 91
3-11 nhiệt xử lý ( thối hỏa )
Phi hoạt tính khí thể trung chi tinh viên nhiệt xử lý 93
3-12 độ mô
Tương phối tuyến dụng đích đồng kim chúc tố toàn diện tính đích độ mô 95
3-13 kỳ tha kỹ thuật ． trang trí 1
Lỗi tinh trầm tích, nhiệt khoách tán 97
3-14 kỳ tha kỹ thuật ． trang trí 2
Tuyệt duyên mô đồ bố, nại mễ áp ấn 99

Đệ 4 chương hậu đoạn chế trình ( thiết cát ~ tiếp hợp ) chi chủ yếu chế trình dữ trang trí
4-1 phong trang 1
Phong trang đích chủng loại dữ đặc trưng 108
4-2 phong trang 2
Tòng thật trang kỹ thuật lai khán bán đạo thể phong trang đích xu thế 112
Column vi hà nhu yếu cao mật độ thật trang kỹ thuật 115
4-3 LSI hậu đoạn chế trình phương pháp
Tương LSI trang trí dĩ phong trang phương pháp thu?116
4-4 nghiên ma
Bạc hóa tịch tinh viên 118
4-5 thiết cát
Tương tịch tinh viên phân cát vi đan cá tích thể điện lộ 120
Column tạ do siêu thuần thủy tẩy tịnh phá phôi bán đạo thể tinh phiến đích tĩnh điện 123
4-6 niêm tinh
Tương phân cát hậu đích bán đạo thể tinh phiến đáp tái ô phong trang cơ bản 124
4-7 đả tuyến tiếp hợp
Tương phân cát hậu đích bán đạo thể tinh phiến dữ ngoại bộ điện lực liên tiếp 126
Column vị lai đích tân hình thái đả tuyến tiếp hợp kỹ thuật 129
4-8 vô tiếp tuyến tiếp hợp
Tương bán đạo thể tinh phiến dữ ngoại bộ điện lực dĩ vô tiếp tuyến phương thức tiếp hợp 130

Đệ 5 chương hậu đoạn chế trình ( thụ chi phong trang, đoan tử gia công, kiểm tra ) chi chủ yếu chế trình dữ trang trí
5-1 thụ chi phong trang 1
Đạo tuyến giá hình phong trang chi truyện tống mô tố thụ chi phong trang trang trí 140
Column vi hà vô duyên đối hoàn cảnh bảo hộ lai thuyết thị tất yếu đích? 142
5-2 thụ chi phong trang 2
Cận hữu cơ bản đan biên thiết hữu phùng tế, khả dĩ thụ chi phong trang kim chúc phương thức chú nhập thụ chi 144
5-3 đạo tuyến giá thức phong trang đoan tử gia công
Độ, đạo tuyến thành hình trang trí 146
5-4 BGA thức phong trang đoan tử gia công
Phụ hữu cầu hình, phong trang thiết đoạn ． phân ly 152
5-5 tiêu ký (Marking)
Ô phong trang sản phẩm thượng tiêu ký tính danh dữ địa chỉ 154
5-6 vô tiếp tuyến tiếp hợp trung cụ hữu đại biểu tính chi hậu đoạn chế trình chế tạo phương pháp án lệ
TBGA dữ FCBGA 156
5-7 3D tinh phiến đôi điệp cấu trang
Tinh phiến đôi điệp chi cao mật độ, cao tính năng hóa 160
Column hà vị bán đạo thể ~ cơ khí tổ hợp hệ thống chi thống hợp thiết kế 163
5-8 tinh viên giai đoạn chi phong trang
Hậu đoạn chế trình trung, trực tiếp dĩ khoách tán chế trình chế tạo tinh viên đích phương thức
Column lỏa tinh phong trang sở nhu yếu đích KGD167
5-9 bán đạo thể kiểm tra chế trình
LSI kiểm tra 168

Tác dẫn 176

Tự

21 thế kỷ đích kim nhật, tư tấn hóa đích lãng triều chính trùng kích chỉnh cá thế giới.

Sử dụng cá nhân điện não đích võng tế võng lộ, dĩ hành động điện thoại vi đại biểu đích hành động nghi khí đẳng, giai dĩ tương đương khoái đích tốc độ phổ cập, tòng tư tấn dữ gia điện nghiệp đích truất tráng, tư tấn hóa đích ba lãng dĩ phách đả trứ nghiệp giới dữ nhất bàn đích xã hội hoạt động, thậm chí ô cá nhân đích sinh hoạt, nhi sử nhân cảm thụ thâm thiết.

Lánh ngoại, tác vi võng lộ trung mỗi nhất cá yếu giác đích điện tử nghi khí, dã tùy trứ nhật ích đa công năng hóa, cao tính năng hóa nhi trục tiệm đích tố tạo xuất lánh nhất cá tân mạo, thành vi canh cụ trí tuệ thả canh vi phục tạp đích hệ thống.

Chi sở dĩ năng cú xuất hiện giá chủng điện tử nghi khí, hoặc giả sử điện tử nghi khí đái lai tiến bộ, kỳ cơ thạch tắc vi tác vi hạch tâm chủ giác đích quan kiện nguyên kiện ─ bán đạo thể dĩ cập tạ do bán đạo thể nhi khai hoa kết quả đích “Tích thể điện lộ ( IC )”.

Bán đạo thể tựu như đồng “Mễ” hoặc “Nguyên du” nhất bàn, dĩ quảng phiếm địa sấm thấu ô chỉnh cá xã hội, nhi thành vi hiện đại xã hội đích chủ yếu chi trụ chi nhất. Đãn trừ liễu nhất bộ phân nhân sĩ chi ngoại, tương tín tuyệt đại bộ phân đích nhân đô thượng vị thanh sở liễu giải bán đạo thể đích thật thể.

Nhân thử, y cư bổn nhân trường kỳ tại bán đạo thể sản nghiệp trung tiếp xúc đích kinh nghiệm dữ thể nghiệm, thường thí biên tả giá bổn thư, hi vọng năng sử canh đa đích nhân năng cú đối bán đạo thể ( IC ) hữu canh thâm nhất tằng đích nhận thức.

Đương sở hữu đích tương quan kỹ thuật giai dĩ thâm cụ cơ sở chi hậu, tài hữu khả năng tại chuyên môn kỹ thuật thượng thâm canh, “Hối tập các chủng kỹ thuật” chi hậu, tài năng cú đản sinh bán đạo thể. Bổn thư trung đích nội dung chí thiếu dĩ chưởng ác giá nhất nguyên tắc, dã hi vọng năng cú tác vi đối bán đạo thể dĩ cụ hữu nhất định cơ sở giả đích tham khảo tư liêu.

Tối hậu, đối ô chấp bút bổn thư biên tả chi tế cấp dư nhiệt thành cổ lệ đích bằng hữu môn nhất tịnh thượng tạ thầm.