Phương bắc hoa sang cao giới điện hằng số nguyên tử tầng trầm tích thiết bị hoạch phê lượng đơn đặt hàng

Sắp tới, phương bắc hoa sang 12 tấc Anh cao giới điện hằng số nguyên tử tầng trầm tích thiết bị Scaler HK430 thực hiện ổn định lượng sản, đạt được phê lượng đơn đặt hàng, thị chiếm suất không ngừng bò lên, thắng được khách hàng tín nhiệm. Này tiêu chí phương bắc hoa sang CVD ( hóa học khí tương trầm tích ) tiên tiến công nghệ thiết bị giải quyết phương án thành công ứng dụng, vì hoa sang tiến thêm một bước mở rộng cao cấp thiết bị đường đua rót vào tân động lực.

Vì đột phá bóng bán dẫn kích cỡ hơi co lại công nghệ bình cảnh, nghiệp giới chọn dùng kiểu mới High-K tài liệu HfO2 ( oxy hoá cáp ) làm sách chất môi giới tầng, kết hợp kim loại lưới kỹ thuật, nghiên cứu phát minh ra HKMG(High-K/Metal Gate cao giới điện hằng số / kim loại lưới ) công nghệ. Nên công nghệ ở 45nm cập dưới tiết điểm chiếm cứ trung tâm địa vị, CVD/ALD ( nguyên tử tầng trầm tích ) công nghệ thiết bị trở thành HKMG công nghệ quan trọng chống đỡ. Phương bắc hoa sang bằng vào nhiều năm nguyên tử tầng trầm tích kỹ thuật tích lũy, sáng tạo đẩy ra 12 tấc Anh cao giới điện hằng số nguyên tử tầng trầm tích thiết bị Scaler HK430, bằng vào dẫn đầu tính năng ưu thế, sản năng ưu thế, cùng với ứng dụng với quốc nội 12 tấc Anh chủ lưu Fab ( chất bán dẫn chế tạo ) xưởng thực tiễn kinh nghiệm, trở thành quốc nội HiK lượng sinh ra sản tuyến chủ lực cơ đài.

Scaler HK430 thiết bị chọn dùng Cross Flow ( giàn giụa ) tiến khí phương thức, có thể thực hiện càng tốt công nghệ ổn định tính khống chế, vận dụng xoay tròn Heater ( đun nóng nền ) kết cấu thiết kế, có thể đạt thành càng tốt lá mỏng trầm tích đều đều tính cập ưu dị hạt khống chế biểu hiện; ở kết cấu hệ thống phương diện, chọn dùng mỗi khang đơn phiến thức thiết kế, ở dòng khí tràng đều đều tính, độ ấm khống chế chờ phương diện biểu hiện ưu dị, đơn phiến công nghệ kết quả nhất trí tính trên diện rộng đề cao; ngoài ra, phản ứng nguyên chọn dùng song nguyên bình thiết kế, có thể thực hiện càng cao Uptime ( vận hành thời gian ), đồng thời nguyên bình chọn dùng chân không đun nóng phương thức, độ ấm khống chế càng thêm tinh chuẩn, hệ số an toàn càng cao, tương so với đồng loại hình sản phẩm cụ bị càng tốt hạt khống chế năng lực; ở phần mềm phương diện, thông qua toàn tự động lưu trình cập tương quan số liệu theo dõi, an toàn lẫn nhau khóa giả thiết chờ vì thực hiện ổn định lượng sản cung cấp càng tốt vận hành hoàn cảnh, cùng đồng loại hình sản phẩm so sánh với, cụ bị càng cao an toàn tính cập ổn định tính. Rộng khắp ứng dụng với Logic ( logic ), DRAM ( động thái tùy cơ tồn trữ khí ) chờ lĩnh vực.

Tương lai, phương bắc hoa sang đem quyết chí không thay đổi mà nhanh hơn khoa học kỹ thuật sáng tạo thực tiễn nện bước, không ngừng đẩy mạnh CVD tiên tiến công nghệ thiết bị bố cục nghiên cứu phát minh, vì chất bán dẫn ngành sản xuất đa nguyên hóa kỹ thuật nhu cầu cung cấp càng vì hiệu suất cao giải quyết phương án, thúc đẩy chất bán dẫn trang bị chế tạo kỹ thuật phát triển mại hướng tân độ cao.