Oxy hoá ( Oxidation ) là đem khuê phiến đặt với dưỡng khí hoặc hơi nước chờ oxy hoá tề bầu không khí trung tiến hành cực nóng xử lý nhiệt, ở khuê phiến mặt ngoài phát sinh phản ứng hoá học hình thành oxy hoá màng quá trình, là mạch điện hợp thành công nghệ trung ứng dụng so rộng khắp cơ sở công nghệ chi nhất. Oxy hoá màng sử dụng rộng khắp, nhưng làm ly tử rót vào ngăn cản tầng cập rót vào xuyên thấu tầng ( tổn thương giảm xóc tầng ), mặt ngoài độn hóa, cách biệt sách tài liệu cùng với linh kiện chủ chốt ô dù, cách ly tầng, linh kiện chủ chốt kết cấu chất môi giới tầng chờ. Khuếch tán ( Diffusion ) là ở cực nóng điều kiện hạ, lợi dụng nhiệt khuếch tán nguyên lý đem tạp chất nguyên tố ấn công nghệ yêu cầu trộn lẫn nhập khuê sấn đế trung, làm này có riêng độ dày phân bố, đạt tới thay đổi tài liệu điện học đặc tính, hình thành chất bán dẫn linh kiện chủ chốt kết cấu mục đích. Ở khuê mạch điện hợp thành công nghệ trung, khuếch tán công nghệ dùng cho chế tác PN kết hoặc cấu thành mạch điện hợp thành trung điện trở, điện dung, quan hệ nối liền hệ thống dây điện, bóng hai cực cùng bóng bán dẫn chờ linh kiện chủ chốt.
Làm giảm độ cứng ( Anneal ) cũng kêu nhiệt làm giảm độ cứng, mạch điện hợp thành công nghệ trung sở hữu ở khí nitơ chờ không hoạt bát khí thể trung tiến hành xử lý nhiệt quá trình đều nhưng xưng là làm giảm độ cứng, này tác dụng chủ yếu là tiêu trừ tinh cách khuyết tật cùng tiêu trừ khuê kết cấu tinh cách tổn thương. Mặt khác, vì sử khuê phiến mặt ngoài hình thành tốt đẹp cơ sở, cùng với ổn định Cu xứng tuyến kết tinh kết cấu cũng đi trừ tạp chất, do đó đề cao xứng tuyến đáng tin cậy tính, thông thường yêu cầu đem khuê phiến đặt ở khí trơ như Argon khí hoàn cảnh trung tiến hành nhiệt độ thấp xử lý nhiệt, cái này quá trình được xưng là hợp kim ( Alloy ).
Trở lên công nghệ rộng khắp dùng cho chất bán dẫn mạch điện hợp thành, tiên tiến phong trang, điện lực điện tử ( IGBT ), hơi cơ điện ( MEMS ), quang phục pin ( Photovoltaic ) chế tạo chờ ứng dụng trong lĩnh vực, phương bắc hoa sang lập thức lò, nằm thức lò thiết bị đều đã đạt tới quốc nội chất bán dẫn thiết bị tiên tiến trình độ, này kỹ thuật chỉ tiêu cập công nghệ tính năng biểu hiện xông ra, tận sức với vì khách hàng cung cấp có tiên tri tính cùng dẫn đường tính sản phẩm kỹ thuật cùng giải quyết phương án.
