Plasma làm pháp khắc thực kỹ thuật là lợi dụng thể plasma tiến hành lá mỏng nhỏ bé gia công kỹ thuật, bởi vì có tốt đẹp các hướng khác phái cùng công nghệ nhưng khống tính đã bị rộng khắp ứng dụng với chất bán dẫn cơ sở sản phẩm chế tạo lĩnh vực.
Bằng vào đang đợi ly tử thể khống chế, phản ứng khang thất thiết kế, khắc thực công nghệ kỹ thuật, phần mềm kỹ thuật tích lũy cùng sáng tạo, phương bắc hoa sang ở mạch điện hợp thành, công suất chất bán dẫn, hoá chất chất bán dẫn, chất bán dẫn chiếu sáng, hơi cơ điện hệ thống, tiên tiến phong trang chờ lĩnh vực đều nhưng cung cấp tiên tiến trang bị cập công nghệ giải quyết phương án. Phương bắc hoa sang hiện đã hình thành đối khắc thực công nghệ toàn bao trùm, có đối khuê, thâm khuê, kim loại, chất môi giới, hoá chất chất bán dẫn ( SiC, GaN, GaAs, InP, LiNbO₃,LiTaO₃Chờ ) chờ nhiều loại tài liệu khắc thực năng lực, bằng vào tốt đẹp công nghệ tính năng trở thành khách hàng lựa chọn phương án tối ưu.